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    光明日报 2023年11月29日 星期三

    毫厘之间见真章

    讲述人:华中科技大学机械科学与工程学院教授 陈 蓉

    作者: 《光明日报》( 2023年11月29日 07版)

      【一线讲述】

      实现纳米尺度下的精密制造,是世界级难题,也是我一直以来追赶的目标。

      从美国硅谷到中国光谷,归国这十几年,我和团队主攻纳米制造,在毫米的百万分之一尺度下观察原子的性质和变化。在这样小的空间里,肉眼不可见,手指触不着,我们必须借助先进的探测手段。但是光探测还不够,更难的地方在于要实现精准的操控。

      我们实现纳米甚至原子尺度下精确制造的方法叫作“选择性原子层沉积技术”。“原子层沉积”就像搭积木一样,通过物质表面与反应物分子发生反应和原子替换,从而实现由原子一层层搭建“高楼大厦”的效果,每层的精度可达到埃米级,如今这已成为微纳制造研究的热点之一。而“选择性原子层沉积技术”则更进一步,只在特定表面、特定位置发生“原子积木”的搭建,其他表面维持原状。这一技术的突破对于半导体行业而言意义重大。为了尽早实现工艺产业化,创造社会价值,我们团队正在积极开发选择性沉积设备,争取在相关领域早日投产。

      我是一名科技工作者,也是一名高校教师,目前承担三门本科生课程、一门研究生课程,还承担着湖北省本科教改项目“面向新工科的纳米制造系列课程体系建设”。我经常跟学生说,要以勤奋为基,以赤诚之心和实际行动回报祖国和社会。而我,会继续当好追梦的奋斗者和学生的筑梦人,用科技强国的火炬点亮星空。

      项目团队:

      本报记者 张胜、王建宏、张锐、颜维琦、龙军、禹爱华、赵嘉伟、赵秋丽、冯帆、周洪双

      本报通讯员 庹炼

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