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    光明日报 2023年03月05日 星期日

    中国船舶集团第七一八研究所副所长郭建增代表:

    奋力突破关键技术壁垒

    作者:本报记者 陈海波 《光明日报》( 2023年03月05日 06版)

      【代表委员谈强信心、暖人心、聚民心】 

      电子特种气体广泛应用于集成电路制程的离子注入、蚀刻清洗、薄膜沉积等多个关键工艺过程,直接制约着芯片的性能与可靠性,被称为“电子行业的血液”;氢能是战略性新兴产业的重点方向,是构建绿色低碳产业体系、推动产业转型升级的新增长点。近年来,我国越来越认识到电子特种气体和氢能的重要性,相继出台一系列产业支持政策,许多技术壁垒也不断被突破。

      作为奋战在一线的科技工作者,我们始终聚焦服务国家战略,以科技创新助力国家战略性产业发展。经过多年努力,我们的研发团队突破了数十种电子特种气体“卡脖子”技术,自主研制的三氟化氮、六氟化钨气体产能进入世界前列,保障了国家集成电路产业链供应链自主安全;研制的世界单体最大的2000m3/h(立方米每小时)水电解制氢装置成功下线,为实现“双碳”目标提供了科技助力。

      接下来,我们将对标国际先进水平,通过科技创新、成果转化、产能建设、管理提升等多项措施,大力推动我国电子特种气体产业和绿氢制备产业高质量发展。

      同时,也希望国家进一步加大对电子特种气体产业的扶持力度,尽快启动国家电子特气重大专项,开展电子特气全谱系产品研发规划,并给予更加优惠的关税政策和电价支持政策;强化绿氢制备的行业意义,将氢能纳入能源管理范畴,大力推进科技研发,将绿氢制备核心技术掌握在自己手中,推动国内绿氢产业跨越式发展。

      (本报记者陈海波采访整理)

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