奋力突破关键技术壁垒

  【代表委员谈强信心、暖人心、聚民心】 

  电子特种气体广泛应用于集成电路制程的离子注入、蚀刻清洗、薄膜沉积等多个关键工艺过程，直接制约着芯片的性能与可靠性，被称为“电子行业的血液”；氢能是战略性新兴产业的重点方向，是构建绿色低碳产业体系、推动产业转型升级的新增长点。近年来，我国越来越认识到电子特种气体和氢能的重要性，相继出台一系列产业支持政策，许多技术壁垒也不断被突破。

  作为奋战在一线的科技工作者，我们始终聚焦服务国家战略，以科技创新助力国家战略性产业发展。经过多年努力，我们的研发团队突破了数十种电子特种气体“卡脖子”技术，自主研制的三氟化氮、六氟化钨气体产能进入世界前列，保障了国家集成电路产业链供应链自主安全；研制的世界单体最大的2000m3/h（立方米每小时）水电解制氢装置成功下线，为实现“双碳”目标提供了科技助力。

  接下来，我们将对标国际先进水平，通过科技创新、成果转化、产能建设、管理提升等多项措施，大力推动我国电子特种气体产业和绿氢制备产业高质量发展。

  同时，也希望国家进一步加大对电子特种气体产业的扶持力度，尽快启动国家电子特气重大专项，开展电子特气全谱系产品研发规划，并给予更加优惠的关税政策和电价支持政策；强化绿氢制备的行业意义，将氢能纳入能源管理范畴，大力推进科技研发，将绿氢制备核心技术掌握在自己手中，推动国内绿氢产业跨越式发展。

  （本报记者陈海波采访整理）